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EUV光源
专题文章
朗道 Silex 发布首款 EUV 光源原型：输出逾 15 W，量产或还需三到五年
朗道 Silex 在工博会上发布首款国产 EUV 光源原型，公司称国产化率 90%、EUV 输出超过 15W，但展会现场未点亮演示，数据均出自公司自述。距商用所需的数百瓦和量产仍有三到五年差距，完整光刻机的其他核心部件也尚无对应供应链。
硬件与数码
2026-10-18
2026-10-18
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