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中科院
专题文章
中科院微电子所在“极紫外 EUV 光刻基板缺陷补偿”方面取得新进展
近日，中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心在极紫外光刻基板缺陷补偿方面取得进展。中国科学院消息显示，微电子所研究员韦亚一课题组与北京理工大学教授马旭课题组合作，提出了一种基于遗传算法的改进型掩模吸收层图形的优化算法
综合资讯
2021-09-16
2021-09-16
我国首套超算合成孔径雷达干涉测量系统研制成功
据中国新闻网报道，中国科学院空天信息创新研究院与计算技术研究所合作，成功研制出中国首套自主知识产权的超算合成孔径雷达干涉测量 (InSAR)系统，实现了合成孔径雷达干涉测量大数据自动化、批量并行处理。
综合资讯
2021-01-15
2021-01-15
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